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洁净室的定义

作者:超净工作台 日期:2013-04-09 16:38:38 信息来源:www.chaojinggongzuotai.com

洁净室的定义


洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流 分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在 之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

 

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在 一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。世界各国均有自定规格,但普 遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。


209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以 每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后 二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。


美国联邦标准FS  209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位, 以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最 好的等级为Class 1,最差则为Class  8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指 数而得。

 

(天驰超净工作台

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